本設備主要用於半導體行業，對晶圓製程設備上的部件進行氦檢漏、拉力測試和紅外測溫。係統采用PLC控製，從檢漏開始到檢漏結果顯示均為自動化控製，係統配有工控機，可對測試數據進行上傳和導出。設備係統采用模塊化的設計，充分考慮部件的氦檢漏、拉力及溫度測試要求，核心部件均采用了進口一線品牌產品，保證了係統的可靠性和可維護性，充分滿足了大部分廠家部件的技術指標要求。

拉力測試部分主要由真空泵、電磁閥、壓力傳感器和管道等組成。能在設定的時間內對工件充入一定壓力壓縮空氣並保壓並監測壓力衰減範圍。

紅外測溫部分主要由紅外測溫探頭、通訊模塊、控製模塊和密封安裝部分組成，可在測試過程中對產品表麵溫度監控，並記錄、輸出測試過程中表麵最大溫度值和最低溫度值以及平均溫度值。

氦檢漏部分主要由5G天天玩5G天天嗨、控製閥門及校準部分等組成，氦質譜檢漏儀采用安徽天天5G天天爽5G科技有限公司A100型5G天天玩5G天天嗨，技術先進，性能穩定，安裝維護方便。

安徽天天5G天天爽5G科技研發生產的晶圓部件多功能測試台目前已成功服務於國內某知名大型上市公司，客戶經過充分比對，給出了“技術先進，穩定可靠”的好評。